纳米加工平台

1/ 平台简介
  纳米加工平台主要由纳米加工工艺实验室,特色设备研发实验室,器件可靠性和失效分析实验室以及器件测试、封装实验室四部分组成,集微米、纳米加工和检测手段于一体,具有先进的、有特色的加工装备的研究基地;具有开发微纳电子器件、微纳光电子器件、微纳光机电系统、生物传感器及生物芯片等多功能的技术支撑体系;具有孵化器功能,为企业全方位开放的服务体系;是为国家和企业的纳米科研和产业提供的人才培养基地,同时也是为企业家和科学家提供的一个思想交流的平台。目标是要建成具有国际先进水平的、面向国内外开放的纳米科学研究和成果转化的公共技术平台,提高研究所的核心竞争力,并有效改善江苏省的科研基础和科技创新环境。
2/ 平台服务职能
  纳米加工平台主要由纳米加工工艺实验室,特色设备研发实验室,器件可靠性和失效分析实验室以及器件测试、封装实验室四部分组成,集微米、纳米加工和检测手段于一体,具有先进的、有特色的加工装备的研究基地;具有开发微纳电子器件、微纳光电子器件、微纳光机电系统、生物传感器及生物芯片等多功能的技术支撑体系;具有孵化器功能,为企业全方位开放的服务体系;是为国家和企业的纳米科研和产业提供的人才培养基地,同时也是为企业家和科学家提供的一个思想交流的平台。目标是要建成具有国际先进水平的、面向国内外开放的纳米科学研究和成果转化的公共技术平台,提高研究所的核心竞争力,并有效改善江苏省的科研基础和科技创新环境。
3/ 平台技术职能
(1) 加工精度从微米到数十纳米
(2) 6英寸-4英寸-2英寸-小片兼容
(3) 工艺加工-器件测试-器件封装于一体
(4) 开放式管理,同时为科研人员和企业提供纳米级器件加工服务
4/ 平台服务方式
(1) 允许通过培训的申请人利用平台进行自主研发工作
(2) 代工服务
(3) 联合项目和产品研发、
(4) 提供超净环境
(5) 技术委托开发与技术咨询
(6) 技术人员培训和研究生培养
5/ 平台定位
  对应用基础和具有应用前景的科技研究,集微米、纳米加工和检测手段于一体,具有先进的、有特色的加工装备的研究基地。
6/ 建设宗旨
  整合资源, 服务科研,开放管理, 服务社会,培养人才, 面向未来,集中优势, 突出特色。
7/ 建设目标
  具有国际先进水平的、面向国内外开放的纳米科学研究和成果转化的公共技术平台
8/ 技术功能
  适用于微纳电子、光电子器件、微纳光机电系统、各种传感器和生物芯片等研制开发。
9/ 平台特色
  大小兼容(6英寸 — 小片兼容)。
  工艺加工 — 器件测试 — 器件封装于一体。
10/ 平台加工服务能力示意


 

测试分析平台


  测试分析平台配备先进的分析表征设备,具备全面的纳米尺度下的单分子和纳米结构的表征技术与测试手段,包括材料和器件的结构、表面及其力、电、光、热学性质,拥有丰富的理论计算手段,实验和理论紧密结合,为研究所科研方向提供全面的科技技术支撑服务,针对地方和国家的重大项目和主要产业方向为周边企业和单位提供有特色的纳米测试分析的科技支撑服务。测试分析平台目前已到位安装的测试分析设备总投资约3000多万元,拥有场发射透射电子显微镜、环境扫描电子显微镜、多功能光谱测试分析平台、光电和光伏性能综合分析系统、功能模块齐全的扫描探针显微镜等几十余台大中型先进的测试分析设备,可为纳米材料和结构、纳米器件、生物医药等产业领域提供系统的测试分析服务。

   

  平台对研究所、高校和企业全方位开放,主要的开放包括以下四种形式:
 (1)设备资源开放
  所有设备对研究所、高校、企业甚至个人全部开放,申请人经过平台的技术人员培训获得上岗资格后可以独立使用平台的设备从事科研和产品的开发。
 (2)研究场地开放
  申请单位可以独立运行所申请的超净空间、安置研发设备,配合平台提供的设备资源进行研发工作。
 (3)人才开放
  平台可以向申请单位或个人提供人员支持协助参与申请者非核心的技术工作或者开发行的研究工作。
 (4)技术开放
  本着开放的原则,平台可以向平台的使用单位或个人提供一般的技术条件,以促进加工测试技术进步,降低使用者的技术研发成本。